HFCVD

AcronymDefinition
HFCVDHot Filament Chemical Vapor Deposition
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En este trabajo se reporta el crecimiento de peliculas de diamante depositadas sobre silicio cristalino (111) por la tecnica de HFCVD usando una mezcla de gases con concentraciones variables de metano (CH4) en hidrogeno (H2).
El registro cualitativo de dos espectros con caracteristicas identicas resulta normal para dos peliculas crecidas en la misma camara por el mismo proceso de HFCVD y en las mismas condiciones termodinamicas.
La informacion obtenida con el AFM de los detalles de la morfologia de la superficie de las peliculas de diamante evidencia que aun con las mismas condiciones termodinamicas de crecimiento el metodo de HFCVD produce peliculas con granos de diferente calidad.